Renksiz, yanıcı, patlayıcı, hafif kokulu ve zehirli bir gaz olan etilen oksit (EO) gazı 1859 yılında keşfedilmiştir. Ancak EO gazının bakterisidal özellikleri 2. Dünya Savaşı'na kadar bilinmemekteydi. Bu özelliklerinin keşfinden sonra, ısıya ve neme duyarlı malzemelerin sterilizasyonu için bakterisidal faktör olarak önerildi ve tıbbi cihaz sterilizasyonu için 1960’larda kullanılmaya başlandı.

Çoğunlukla ısıya ve neme duyarlı malzemeler olan tıbbi cihazlar, etilen oksit ile sterilize edilir. Plastik veya reçine gibi polimerlerde, metal veya cam malzemelerde, çok katmanlı ambalajlarda veya ulaşılması zor boşluklara sahip tıbbi cihazlarda rahatlıkla kullanılır. ABD pazarında steril tıbbi cihazların yüzde ellisi etilen oksit ile sterilize edilmektedir. Bu, etilen oksitin tıbbi cihazlar ile tepkimeye girmemesi nedeniyle etilen oksit sterilizasyonun üreticiler tarafından yaygın olarak kullanıldığını gösterir.

EO, mikroorganizmayı organizmaların hücresel bileşenleri ile alkilasyon reaksiyonu yoluyla inaktive eden doğrudan bir araçtır. Alkilasyon yolağı, alkil gruplarının DNA, RNA ve proteinlere eklenmesiyle oluşur. Bu kimyasal kısımlar, çoğu tıbbi cihazın bileşimininde mevcut değildir; bu nedenle, EO’ya maruz kalmak tıbbi cihazlar üzerinde herhangi bir olumsuz etkiye neden olmaz.